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瑞源精细 四氟化碳

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四氟化碳
包装:32.7kg 报价:80元/kg
产品名称技 术 标 准
纯度 %
( v/v )≥
氧含量
% ≤
氮含量
% ≤
酸度( hg/g )≤一氧化碳
% ≤
水份含量
ppm ≤
四氟化碳99.90.0350.0351.00.0025
四氟化碳99.9950.020.020.10.013
四氟化碳99.9990.010.010.10.0012
性状 : 在常温下 , 四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体,挥发性较高,是最稳定的有机化合物之一。
物性:分子量 88.005 ,熔点 -186.8 ℃ ,沸点-128℃,液体密度:1603kg/m 3 ,气体密度3.946kg/m 3 ,
相对密度 3.05,比容0.2747m 3 /kg,气液容积比:436l/l,临界温度:-45.6℃,临界密度629kg/m 3
熔化热: 7.609kj/kg,气化热:135.65kj/kg。
用途 : 四氟化碳是目前微电子工业用量最大的等离子蚀刻气体,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术,气相绝缘低温制冷,泄漏检验剂,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用
注意事项:一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。


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